技术编号：6018805
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，属于测量。 背景技术文献“比对法真空计量标准装置的研制”，《宇航计测技术》第66期、1992年第6期、 第70 73页”，介绍了比对法真空规的校准方法及校准系统，但其校准范围为IO5 10_4Pa， 而且在KT1 压力范围内通过磁悬浮转子规进行测量，这种测量方法的下限受制于磁悬浮转子规测量下限，同时磁悬浮转子规成本比较昂贵，再加上该系统比较庞大，只适合在实验室使用，无法满足现场宽量程高精度真空规的校准需求。文献“动态流量法超高标准真空装置”，《...
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