技术编号：6019012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集 成电路制造设备领域，特别是涉及一种用于激光调阻机的电阻测量直O背景技术激光调阻，是一种修调电阻阻值的工艺。其原理是当高功率激光光束撞击厚膜或薄膜电阻材料表面时，光束撞击处的电阻材料介质气化，使电阻阻值升高。激光调阻机就是利用此原理，对电阻进行修调，得到符合阻值精度要求的电阻的装置。激光调阻机在修调电阻前，需要先测量得到待修调电阻的阻值。现有技术中，通常运用以下两种方法实现电阻测量数字万能表测量电阻法和可编程恒流输出一测量电压法。数字万能表测量...
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