技术编号：6019330
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及装载台的装载台驱动装置及其探查方法。更详细的，涉及可高速检查被检查体的装载台的装载台驱动装置和探查方法。背景技术 半导体装置制造工艺中，检查在晶片上形成的设备的电特性。例如，如图7所示的，该检查使用装载台的具有装载台驱动装置的探针装置。在探针装置的探测室内配置内置装载晶片W的升降机构的装载台1、支撑该装载台1，且可沿X方向移动的X台2、支撑该X台2，且可沿Y方向移动的Y台3。检查晶片W的电特性时，通过将X台2和Y台3向X、Y方向移动，而向X、Y方...
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