技术编号：6019658
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于检测两个可相对彼此运动的对象的相对位置的光学位置测量装置。本发明特别涉及这样的位置测量装置，其中使用具有光栅的量具，其将入射的光线通过衍射分离成不同的部分光线。通过适合的部分光线的汇合，当其中一个量具相对于其它量具移动时通过两个部分光线的干涉在图片探测器中产生周期性的信号。通过计算探测器中的周期可以判断移动的范围。背景技术这种干涉性的位置测量装置例如在半导体工业中用于高精度的位置测量，在此例如用于照相平板印刷术的曝光用蔽光框必须相对于晶片...
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