技术编号:6020146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用激光测定透明测定对象物的表面和背面状态的光学测定方法及其装置。背景技术 以往,提出了一种用于对附着在液晶显示装置用的玻璃基板、平板显示装置用的贴付有透明膜的基板等薄基板的表面上的异物进行检查的光学测定装置。例如,在月刊《显示器》2001年12月号增刊记载的发明者们开发的异物检查装置中,巧妙地利用组合了成像检测方式和线传感器的装置结构,不需要检测附着在背面上的异物,便可实现对附着在表面上的异物的高精度检测。该装置使来自附着在玻璃基板的背面的异物...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。