技术编号:6021740
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发 明属于MEMS传感器,尤其涉及一种硅微电容式二维加速度传感器。背景技术目前,单轴微型加速度传感器的技术比较成熟。但在一些特殊的应用场合,如飞行器姿态控制、导弹制导、战场机器人等,往往需要检测两个方向的加速度。如果仅仅采用早期的组合方式,即将两只单轴微型加速度传感器相互正交装配在一起,不仅传感器性能受装配精度的影响极大,而且存在集成度低、体积大、一致性差等问题。因此,二维集成式微型加速度传感器成为研究热点。现有的二维集成式微型加速度传感器,无论是在同一...
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