穿隧式磁阻传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6021988

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本发明是有关于ー种穿隧式磁阻传感器,且特别是关于ー种平面穿隧式磁阻传感器。背景技术近年来,磁阻元件的应用主要分为两种,一种是磁性随机存取内存(MagneticRandom Access Memory, MRAM),另一种则是磁阻传感器(magnetoresistance sensor)。以磁阻传感器为例,其可应用于电子罗盘中,用以精细侦测地球磁场的变化;或是应用于机械装置之中,用以监测线性或角度位移。而且,为提高装置的灵敏度,目前多以穿隧式磁阻(Tunne...
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