技术编号：6022005
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ArF准分子激光薄膜元件应用，特别涉及辐照密度高均勻性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置。背景技术ArF准分子激光器所产生的强193nm脉冲激光包括在材料精细微加工、深紫外光刻、材料处理、激光打标等的激光工业应用，准分子激光医疗，以及科学研究等诸多领域具有十分重要的应用。无论是对ArF准分子激光器本身，还是ArF准分子激光应用系统，都是不可缺少光学薄膜元件，并且是最易受损的基本元件。光学薄膜元件的激光损伤将直接降低系统的光束质量，使激光应用系统的性...
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