技术编号:6022110
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术 加速度传感器作为物理量的检测装置,被广泛地应用于各种机械产业领域中,并且也被用作数字设备用的输入装置。根据检测方向,加速度传感器可分为1轴型和3轴型等,作为检测形式,可以列举压阻型、压电型、静电电容型等。作为本发明的静电电容型加速度传感器,具有位移电极,或者在本身为金属制成、作为共用电极的隔膜的一个表面接合重锤,在隔膜的两侧经由用于确保电极空间的垫片,层叠静电电容检测用的电极基板而构成。其作用是,借助于承受加速度的重锤所产生的惯性...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。