技术编号:6022113
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。频率扫描干涉仪也称作波长扫描干涉仪或多波长干涉仪,它用于在不同频率的照明下产生一连串干涉图案并评估该这些图案以提供测试对象的轮廓测量。背景使用多个激光频率或波长进行测量的频率扫描干涉仪的开发已进行了好几年。在垂直于参考平面或表面进行表面变化的测量时,干涉仪对于测量测试对象的表面轮廓特别有用。例示这种开发的参考文献包括R.G.Pilston和G.N.Steinberg,“Multiple-Wavelength Interferometrywith Tunab...
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