技术编号:6022178
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械系统领域,涉及一种间接连接型音叉振动式微机械陀螺, 特别是涉及一种左结构和右结构间接连接、静电梳齿驱动和静电梳齿电容和平行板电容相结合共同检测的、主要的阻尼为滑膜阻尼的音叉振动式微机械陀螺。背景技术微机械陀螺是利用科氏效应来检测转动物体角速度的一种微惯性传感器。采用微电子机械加工技术制备的微机械陀螺因其成本低、体积小、质量轻、功耗低、结构与工艺简单以及适合量产等特点,广泛应用于航空航天、军事、汽车、消费电子产品等领域。音叉振动式微机械陀...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。