技术编号:6022230
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用于检查装置的,该检查装置用于对例如平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板等进行检查。背景技术以往,在液晶显示器(LCD Liquid Crystal Display)、PDP (等离子体显示面板 Plasma Display I^anel)、有机 EL(ElectroLuminescence)显示器、表面传导型电子发射兀件显不器(SED Surface-conduction Electro-emitter Display)等 FP...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。