技术编号:6023505
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于材料物理特性检测,具体涉及。背景技术表面波在薄膜上传播时的频散特性携带着大量薄膜和基底物理特性的信息,可以用来表征薄膜的物理特性,例如薄膜的杨氏模量。杨氏模量是表征薄膜材料物理特性的重要参数,随着集成电路的不断发展,集成电路的特征尺寸不断减少,半导体工业进入深亚微米时代,互连线延迟已经超过门延迟成为提高工作速度的最大障碍,因此低介电常数 (low-k)介质开始取代以前电介质材料(如SiO2)得到广泛使用,low-k材料的介电常数介于空气和二氧化硅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。