一种静态进样正压漏孔校准装置及方法技术资料下载

技术编号:6024322

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本发明涉及,特别是采用静态进样技术实现漏率值小于IXlO-7Pa m3/s的正压漏孔准确校准的装置及方法,属于测量领域。背景技术正压标准漏孔(简称正压漏孔)的校准是真空计量领域的一个重要研究方向。 我国真空计量一级站采用定量气体动态比较法校准正压漏孔,其校准范围为(ιχιο_7 IXl(T4)Pa m3/s。在实际应用中,还需要用到一些的漏率值小于1 X 10_7Pa m3/s的正压漏孔,应用定量气体动态比较法不能准确的校准此类小漏率正压漏孔。文献“张涤...
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