技术编号:6024334
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种用于声表面波(SAW)高温压力传感器的温度补偿的方法。具体是在优化选择SAW敏感基片切型的基础上,通过控制基片表面的纵横应力比来改善SAW 谐振器的频率-温度特性,从而实现较宽温度和程范围的更好的温度补偿效果。背景技术高温环境下温度、压力等参数的检测是石油、化工、汽车、航天、军事等领域的一项重要任务,由于高温环境下供电和导线联接困难,一般电子线路也难以正常工作,常规传感器的使用受到极大限制。因此研究适合高温环境下使用的压力传感器是非常有意...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。