技术编号:6024932
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体试样中的杂质分析。具体地说,涉及使用催化剂来提高气体试样中杂质的检测灵敏度。背景技术 在许多工业处理中,必须高速和准确地测量和分析流动气流和液体中微量物质的浓度。之所以要求这样的测量和分析是因为污染物的浓度对最终产品的质量往往是关键性的。例如,气体如氮气N2、氧气O2、氢气H2、氩气Ar、氦气He被用于制造集成电路,在这些气体中即使有ppb(parts per billion,10亿分之几)含量的杂质存在都会损害和降低运算电路的产量。因此,对...
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