一种基于ZnO表面涂层的Y型沸石材料的神经元有害气体传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6025331

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本发明属于电子气敏器件,涉及到一种基于ZnO表面涂层的Y型沸石材料的神经元有害气体传感器。背景技术沸石材料是一种重要的工业材料,广泛的应用于工业催化,分子筛以及化学传感器中。在化学气体传感器应用方面,前期的工作主要是利用其催化性能来提高传感器的选择性能。直到最近,人们才开始研究直接利用其离子导电的电性能开发气体传感器。其传感器的基本结构是在具有钼或者金叉指电极的Si基板或者Al2O3基板上,利用丝网印刷技术沉积ZSM5型沸石材料的厚膜。开发的传感器主要用于...
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