技术编号：6025743
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测量角速度的微陀螺仪。更具体来讲，本发明涉及一种不易受外界干扰的微陀螺仪，其可使感测电极与对应的感测平衡架(gimbal)在相同的方向和/或在测量方向上以相同的谐振频率实现同步，由此消除了由于存在外界平动加速度而出现的多余信号输出，其中的平动加速度例如是由噪音、振动等干扰造成的。背景技术 陀螺仪是一种可检测角速度的测量装置，在目前，其被用作对轮船和飞行器进行精确导航的核心部件。近来，微电子机械系统(MEMS)中的发展使得在汽车导航装置中应...
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