技术编号：6025977
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明为一种彩色共焦显微技术，由其是指一种。背景技术传统的彩色共焦显微系统，一般是架设于桌面上以进行垂直或横向扫描来检测待测物的表面形貌。由于系统体积大与占用空间的问题容易造成不便，对于待测物若是角度过大或是体积庞大的话，以桌上型的结构要进行量测将有其限制性。例如欲量测大型8英寸晶片上所形成的大型集成电路(large scale integration, LSI)晶片的凸块高度,碍于机型结构无法即时变更，因而大幅地减少其实用性。现有技术中，如美国公开US....
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。