光学位移计的制作方法技术资料下载

技术编号:6025996

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本发明涉及ー种用于通过三角測量系统检测物体的位移的光学位移计。 背景技术在三角測量系统的光学位移计中,用光照射物体(下文称为“エ件”)的表面,反射的光被具有ー维或ニ维排列像素的光接收元件接收。可基于由光接收元件获取的光接收量分布的峰位来测量エ件表面的高度。因此,能够检测エ件的位移(例如,日本未审专利公报 No. 2008-96117)。在光学切割系统的光学位移计中,利用具有直线横剖面的帯状光照射エ件,反射的光被ニ维光接收元件接收。由光接收元件获取的光接收量...
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