用于再生氢传感器的方法和装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6026042

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本发明涉及一种方法,该方法用于在使用在低压下操作的检测器通过氢进行检漏之后的氢传感器的再生。背景技术在每次检漏测量之后,必须再生氢气传感器以确保再次测量的可信度并且保持检漏的高灵敏度。氢传感器的再生包括中和被俘获在传感器包含的晶体管的栅极上的H+。在自然过程期间,这些氢离子H+与来自空气中的氧分子&结合。氢离子H+与氧分子&的化学反应使氢离子脱离晶体管的栅极并进入大气。因此氢传感器被中和从而可以进行下次检漏。然而,通过此自然过程进行的氢传感...
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