技术编号:6026246
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种医用器械的微电极阵列,具体是一种面向电生理应用的。背景技术近年来,随着微机电系统(MEMSMicro-Electro-Mechanical Systems)技术的不断进步,使得微电子设备和微传感器等微系统应用范围不断扩大,已广泛应用于多个领域, 特别是医学领域。微电极阵列是利用微机电系统技术在生物医学方面的一个典型应用。微电极阵列是在基底表面点阵状排列的电极,常见的电极点直径最小为50μπι,电极点间距最小为 100 μ m,离体组织、细...
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