技术编号:6027002
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密仪器制造及测量,特别涉及一种。背景技术随着航空航天工业、汽车工业、电子工业以及尖端工业等的不断发展,对于精密微小内腔构件的需求急剧增长。由于受到空间尺度的限制以及测量接触力的影响,微小内腔构件内尺寸的精密测量变得难以实现,尤其是测量深度难以提高,这些已然成为制约行业发展的“瓶颈”。为了实现更小的内尺寸测量、增加测量深度,最广泛使用的办法就是使用细长的探针深入微小内腔进行探测,通过瞄准发讯的方式测量不同深度上的微小内尺寸。因此,目前微小内尺寸的...
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