基于激光自混合干涉的石英挠性加速度计的制作方法技术资料下载

技术编号:6027518

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本发明涉及惯性检测仪表领域,尤其是基于激光自混合干涉的石英挠性加速度计。背景技术石英挠性加速度计是一种机械摆式加速度计,它具有精度和灵敏度高、温度系数小、结构简单、体积小等优点,是精密惯性导航、制导系统中最为理想的惯性仪表之一,广泛应用于航空、航天、航海及陆地导航控制领域。作为惯性导航、制导系统的基本测量元件,石英挠性加速度计精度直接影响惯性导航、制导系统的性能。随着科学技术的不断发展,惯性导航、制导系统的精度不断提高,对于石英挠性加速度计的分辨率和精度的...
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