技术编号：6027540
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种倾角传感器，具体涉及一种微机械电容式顷角传感器。 背景技术水平传感器广泛应用于工程、建筑以及实验室等各种环境。传统的水泡型的水平仪分测量一维水平误差的长水泡和测量二维水平面的圆水泡。一维结构测量精度高，但做二维测量时需要相互垂直的两个，占用体积大且不能实现自动测量系统。二维测量的圆水泡精度较差，同样也不能和测量电路集成。由顷角传感器实现水平测量是目前测量系统的主要构成方式。传统的顷角传感器体积较大。顷角传感器从工作原理上可分为“固体摆”式、“...
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