技术编号:6027638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学精密装调,涉及一种用于点衍射干涉仪中针孔的精密对准装置和方法。背景技术投影光刻物镜为了实现要求的分辨率及临界尺寸,需要光学系统波像差达到衍射极限.极紫外光刻的工作在波长为13 14nm的极紫外波段,这就要求光学系统的波像差要小于InmRMS,而对单个反射镜镜面的面形偏差更是要到0. 25nmRMS.要实现如此高精度的光学加工,首先要实现高精度的光学检测技术。常规干涉检测技术诸如菲索干涉仪、泰曼干涉仪受制于参考面精度的限制,难以达到如此高精度的...
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