一种柱形热敏区的固态热导检测器的制作方法技术资料下载

技术编号:6029800

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本发明涉及固态热导检测器,是一种气体热导率传感器,用于气相色谱及气体组成变化的检测,广泛的应用在工业在线仪表和实验室分析仪器中。 背景技术分析仪器的微型化是21世纪分析仪器的发展主流,微型化不仅减小了仪器的体 积和重量,而且减小了仪器的功耗和物耗。而仪器微型化的关键之处就是检测器或传感器 的微型化,使检测池体积和功耗降低90%以上,进而可以用更细小的分离色谱柱和电源,使 能耗和载气消耗大幅度降低。 固态热导检测器(Solid State Thermal C...
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