电容压力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6030394

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及压力传感器,具体说是一种电容压力传感器。 背景技术我们知道,现有的电容压力传感器,如国家知识产权局2004 年12月19日公开的名称为硅电容压力传感器,专利申请号为 03284809. 9的实用新型专利,是在底板上设有两个固定极板,固定 极板之间设有可动极板,两个固定极板与可动极板封接成两个电容 腔,两个电容腔内固定极板与可动极板相对的四个面上分别设有金 属电极,形成两个电容。这种电容压力传感器,由于两个电容腔内 固定极板与可动极板相对的四个面上...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 邢老师:1.机械设计及理论 2.生物医学材料及器械 3.声发射检测技术。
  • 王老师:1.数字信号处理 2.传感器技术及应用 3.机电一体化产品开发 4.机械工程测试技术 5.逆向工程技术研究
  • 王老师:1.机器人 2.嵌入式控制系统开发
  • 张老师:1.机械设计的应力分析、强度校核的计算机仿真 2.生物反应器研制 3.生物力学
  • 赵老师:检测与控制技术、机器人技术、机电一体化技术
  • 赵老师:1.智能控制理论及应用 2.机器人控制技术 3.新能源控制技术与应用
  • 张老师:激光与先进检测方法和智能化仪表、图像处理与计算机视觉