技术编号:6030394
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力传感器,具体说是一种电容压力传感器。 背景技术我们知道,现有的电容压力传感器,如国家知识产权局2004 年12月19日公开的名称为硅电容压力传感器,专利申请号为 03284809. 9的实用新型专利,是在底板上设有两个固定极板,固定 极板之间设有可动极板,两个固定极板与可动极板封接成两个电容 腔,两个电容腔内固定极板与可动极板相对的四个面上分别设有金 属电极,形成两个电容。这种电容压力传感器,由于两个电容腔内 固定极板与可动极板相对的四个面上...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。