技术编号:6030462
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种振动式微机械陀螺,属于微机电系统中的惯性传感器,特别 涉及一种振动式解耦微机械陀螺,可广泛用于汽车电子、航空航天、武器装备的运动状态 测量与控制。背景技术陀螺主要利用哥氏效应产生的哥氏力来测量运动物体相对惯性空间的角运动参数,在 民用产品和国防产品领域可广泛用于对物体运动状态的测量及控制。传统的陀螺受体积、 重量、功耗和成本等因素的限制,难以在民用领域推广应用。以集成电路(IC)工艺和精密机械加工工艺为基础制作的微机械陀螺具有体积小、重量轻、...
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