技术编号：6032614
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及的是一种小体积高过载全不锈钢充油结构压力传感器， 是属于扩散硅压阻式压力传感器。背景技术扩散硅压阻式压力传感器以体积小、灵敏度高等优点，在航空航天、工 业自动化、汽车、环境保护、化工、医疗等领域倍受青睐。但长期以来，封 装技术一直是制约硅压阻式压力传感器发展和广泛应用的重要因素。如何研制出体积小，过载量又大的高性能硅压阻式压力传感器，是非常困难的；当 前中小量程的过载能力在2 3倍，大量程(6MPa以上)的过载只有0. 5 1. 5 倍，对于...
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