技术编号:6032945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力传感器和压力测定装置。特别是涉及通过检测导入的压力造成薄膜片的变形,来检测压力的压力传感器和它的制造方法。还涉及关于使用此压力传感器的压力测定装置。然后在膜片5的外面作用压力P1(例如基准压力),通过压力导入部位6和导压通路7导入的压力P2作用在膜片5内表面上的话,此压力差P2-P1会造成膜片5的变形。此变形引起膜片5和掺杂区域3之间的距离改变,进而引起膜片5和掺杂区域3之间的静电容量变化,此电容量变化反映压力的变化,其结果利用掺杂区域和膜片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。