技术编号:6033500
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面缺陷的光学检测方法及其装置。 背景技术 作为用光学方法检测薄钢板表面上的缺陷等钢板表面缺陷的装置,多半采用以激光为光源并利用光的散射或衍射图样变化的光学缺陷检测器。这种检测方式是利用由缺陷所引起的激光散射或衍射图样的变化来检测缺陷,在钢板表面上形成明显的凹凸缺陷时,这是一种有效的检测方法。可是,如果缺陷不是表面凹凸,而是物理参数不均匀、光洁度微小的分布不匀、局部存在薄氧化膜等,以及镀膜厚度不均等,在这些情况下采用上述观测方法就难以进行检测。例...
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