技术编号：6035374
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到借助于涂在薄膜上/或下的热敏区的温度测量传感器，其中薄膜是安装在一个洞上面的。背景技术 附附图说明图1表示了这种传感器。按照附图1传感器有侧壁，这些侧壁与传感器的底边，即薄膜对面的端部有一个角度α。按照附图1已知传感器的角度α为54.7 °。如果已知将这种传感器是构成为热红外-传感器，特别是构成为热核反应堆传感器的，和其中的传感器是用微机械技术制成的。在其中位于构成传感器的硅-基质上边的薄膜是由介电层例如SiO2或Si3N4或其组合制成的。将薄...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。