技术编号:6035647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学冷加工中的一种抛光液膜厚度的测量装置。背景技术 在光学冷加工中,常常碰到对一些镜片需要进行超光滑表面加工,比如在短波段光学中,用在超大规模集成电路制造中的极紫外光刻系统,需要光学系统的成像质量特别清晰,这就要求光学镜片的表面粗糙度达到小于1nm(RMS)的超光滑程度。一般说来,对超光滑表面的光学冷加工,不能采用通常的被加工件与磨盘直接接触的研磨方式,而是采用让抛光液充满被加工件表面和磨盘之间的缝隙空间,磨盘与被加工件的相对运动,形成了两者缝隙...
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