技术编号：6035660
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及流量传感器领域。 背景技术现有流量传感器主要以旋转翼片式(叶片式)、卡门涡旋式、热线式为主， 现有流量传感器同利用硅微机械加工技术制造的平膜式气体流量传感器相比 结构尺寸较大、功耗较高，且不易于批量生产，成本较高。实用新型内容本实用新型是为了解决现有平膜式气体流量传感器结构尺寸较大、功耗 较高，且不易于批量生产，成本较高的缺点，而提出了一种平膜式气体流量 传感器。本实用新型的平膜式气体流量传感器由单晶硅片、绝缘层、过渡层、敏感金属层、钝化保护...
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