技术编号:6035839
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于测量液体中的微小颗粒的大小和数量的仪器,具体地说,涉及一种用于测量液体中的微小颗粒的大小和数量的激光微型液体颗粒计数器芯片。背景技术液体颗粒计数器用于检测液体中的微小固体颗粒污染物,它在医药、水质分析、油液清洁度检测、半导体工艺控制等领域有着重要的应用。光阻法激光液体颗粒计数器根据光散射理论,利用微小粒子对光的散射和阻挡实现对粒子计数和测量。对于传统的液体颗粒计数器,其结构如附图1所示。半导体激光器101发出的光经过透镜组102的汇聚...
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