技术编号:6036162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于位移精密测量传感器。 背景技术直线位移和角位移测量是最基本、最普通的测量。为了兼顾测量分辨率和量 程,许多位移传感器采用了在基体上精密刻线的栅式结构,如光栅、磁栅等,对 其在运动过程中发出的脉冲信号进行累加计数,即实现位移测量。高精度高密度 的刻线引起很多问题, 一方面刻线越密,就越容易受到污染。无论怎么密封保护, 在生产现场恶劣工况下,其微小的粉尘水气都可能污染栅线,使之计数失效。另 -方面,刻线不可能无限地密,而现有的密度远不能满足分辨力...
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