技术编号：6037527
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及仿人机器人、多指灵巧手、机器人柔顺控制以及虚拟现实技术等机器人传感器领域，特别涉及一种能够同时实现对六轴向加速度信息敏感的一体化传感器结构，以及实现对三轴向线加速度和三轴向角加速度信息独立获取方法的一种双E型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器。目前广泛采用的微电子机械技术所提出和生产的基本上是单轴向到三轴向加速度传感器，而角加速度传感器是以单轴向为主，无论是基于压电、压阻等结构的加速度传感器，有一个共同的特点是传感器内部都有惯性质量块；另外有一种...
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