尺寸测量柱和在其中输入指令以转换测量模式的方法技术资料下载

技术编号:6038441

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本发明涉及一种尺寸测量柱,特别是一种单独的垂直轴向柱,也涉及一种用于在这种柱体中通过输入一个命令来转换测量模式的方法。通常的测量柱具有一个高度在50厘米到2米之间的支撑架2并且能使探针44的垂直位置被精确测量到微米级。待测部件9被靠近测量柱1放置,探针则垂直移动以便能顶靠在该部件上,部件的垂直坐标将被测量。测量柱1能被安置在一个气垫基座20上从而有助于其水平移动。这样的测量柱在文件US4924598中被描述过。该测量柱还可以被申请人以例如MICRO-HIT...
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