技术编号：6040146
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。-本实用新型涉及一种压力传感器，特别涉及一种扩散硅压力传感器用基座。技术背景-扩散硅压力传感器是利用单晶硅的压阻效应即材料的电阻率随外加压力 变化而改变的原理制成的。扩散硅压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响 应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单等优点，可以在恶劣的条件下工作， 便于实现数字化。它不仅用来测量压力，稍加改变就可以用来测量差压、高度、 速度、加速度等数据。如果在制备传感器芯片时，同时设计制造一些温度补偿、信号处理与放大电路就能构成集成传感...
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