技术编号:6041170
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种利用全柔性混联机构组合压电陶瓷微驱动系统的用于 扫描电镜原位观察的三平移微动装置,属于材料结构与性能原位测试领域。 背景技术在工程材料领域,高性能微纳磁性材料和磁性信息记录材料等的研究一直 是热点,使用扫描电镜观察材料被划痕处理后的断裂性能、摩擦性能等的技术 是研究材料常用手段之一。但目前扫描电镜只能观察到材料裂纹扩展后或材料 相互摩擦后的静态显微景像,比如可以看到材料裂纹沿晶界扩展后的显微景 像,材料相互摩擦后的摩擦面,而对材料划痕过程...
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