半导体导电类型鉴别仪的制作方法技术资料下载

技术编号:6041225

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本实用新型属于测量装置,特别涉及一种半导体导电类型鉴 别仪。背景技术国内太阳能用单晶硅生产中单晶硅导电类型的测试基本采 用整流法和热电势法,在鉴别导电类型的同时,需要分辨电阻值小于0. 1Q ,cm的样品。现有半导体导电类型鉴别仪在检测低 阻值样品时由于接触电阻的影响,检测速度慢,准确度差。 发明内容本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题,提供 一种克服样品检测过程中接触电阻的影响,实现低阻值样品的快 速、准确检测的半导体导电类型鉴别仪。 本实用新...
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