技术编号:6042473
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法,具体是一种兼顾温 度、振动、湿度三应力的。 背景技术随着社会的进步和国家的发展,国际竞争日趋深化和激烈。市场对产品的 要求越来越高,既要求有高的性能,又要求有高的可靠性,也就是说在产品的 整个使用过程中,要保证产品在设计寿命期内性能稳定不变。目前,由于MEMS 可靠性的复杂程度、特殊性以及研究人员对微器件可靠性的研究不足,使得 MEMS器件的可靠性指标缺乏;同时,由于微惯性器件的特殊性,常规的可靠 性试验已...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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