技术编号:6044213
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶片检测领域,具体涉及一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。该装置由下至上包括底座和光敏传感器,光敏传感器上连接有图形信号传输线;底座上设有光源,光源上方设有样品台,样品台中心设有一与光源相匹配的光源窗口。本实用新型结构简单,实现了碳化硅晶片微管缺陷腐蚀坑的放大和传递,使其分辨更清晰,计数更加准确、快速,可以广泛推广和应用。专利说明—种碳化硅晶片微管缺陷检测装置[0001]本实用新型涉及晶片检测领域,具体涉及一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置。背...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。