技术编号:6047326
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开的一种超高精度X荧光测厚仪,包括激发光源装置、信号探测装置、信号处理装置、双激光定位器、计算机以及样品测试平台,信号探测装置中设置有与信号处理装置连接的探测器,信号处理装置与计算机连接,激发光源装置与计算机控制连接,激发光源装置中设置有X射线管,探测器为SI-PIN电制冷探测器,双激光定位器同时发出垂直激光线与斜向激光线,垂直激光线对准设置在样品测试平台上的激光对准点,斜向激光线以一定倾斜的角度射出并与X射线管所激发的X射线在被测样品的表面处...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。