技术编号:6054819
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置。背景技术目前,普遍使用的聚焦激光束的方法是手动调整镜片的方法,在特殊情况下,环境不允许人为进行操作,而且手动调整效率较低,聚焦准确性不如自动检测。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种聚焦准确性高的激光外差干涉测量光束的自聚焦装置。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置,包括激光器,所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱...
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