技术编号：6055499
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种在扫描器的顶部搭载试料、利用光学显微镜从其上方进行观察的结构的扫描型探针显微镜，并提供一种能够进行试料的透过照明且进行基于光学显微镜的试料的观察的扫描型探针显微镜。扫描器(1)的致动器为筒状压电元件(11)，在其顶部的试料搭载部位设置与筒状压电元件的空洞连通的开口(贯通孔)，并且以非接触为前提而穿过筒状压电元件(11)的空洞内，其前端到达试料支架(3)的附近，并且在其前端配置有照明用光的照射机构(103)，通过设为上述结构，可以使来自照明...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。