技术编号:6055890
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于晶圆和其他成品的测试设备,具体地说是一种基于电源关断技术的乒乓测试机,属于半导体测试设备领域。背景技术测试机是用于晶圆和其他成品测试(以下简称待测产品)的一种专用设备,可以实现各种电参数的测量,其有多个与探针台连接的接口。探针台主要完成探针卡与待测产品的可靠接触、待测产品的固定步距移动,以及探针台与测试机的信号连接等功能。测试头是测试机上的一种测试转换装置,可以将测试机的信号分配给不同的测试单元,以提高测试的效率。传统的测试机只有一个...
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