技术编号:6057973
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种光学错误注入系统及其平台。该光学错误注入平台包括载物平台,用于承载待测芯片;光学头,用于对待测芯片进行光学错误注入;第一传动机构,用于与载物平台连接且沿直线轨迹传动载物平台;第二传动机构,用于与光学头连接且沿曲线轨迹传动光学头。本实用新型能够实现了光学头和载物平台两者协调配合移动,减少物理位置盲区,并且提高了光学错误注入的效率。专利说明一种光学错误注入系统及其平台 [0001]本实用新型涉及信息安全领域,特别涉及一种光学错误注入系...
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