技术编号：6060068
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。硅片偏心测试仪，包括千分表、承载件、支撑座、测头和测试仪仪身，承载件安装在支撑座上，测试仪仪身位于承载件的一侧，千分表固定在测试仪仪身上，侧头安装在千分表的底端并垂直指向承载件的中心，承载件为三足式形式，包括固定板、支架A、支架B和支架C，固定板为镂空式固定板，支架A、支架B和支架C均安装在镂空处。采用本实用新型对硅片的偏心量进行测量，无须采用国外进口昂贵的设备便能轻易得出硅片的偏心量，设备简单，价格低廉，测量方法也很方便，易于维修，适合于大量普通的生产光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。